工藝目的：

特殊物料（含溶劑、易燃易爆物、易氧化）在高溫煅燒過(guò)程中，為了降低爆炸燃燒風(fēng)險或為了滿(mǎn)足特殊工藝需求，將惰性氣體作為保護性氣氛（通常為氮氣）通入回轉窯中，代替空氣作為加熱介質(zhì)。通過(guò)在線(xiàn)監測的氧含量測定儀，控制氣氛爐內的氧含量，整套設備采用間接式加熱，密閉性好，無(wú)氣體及粉塵外泄。

煅燒溫度:100℃—1050℃

加熱形式：間接式天然氣/電加熱

運行方式：連續進(jìn)料連續出料

保護氣氛：氮氣

特點(diǎn)：

• 本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區控溫，溫度均勻性好；

• 本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

• 本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

• 本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進(jìn)行有效處理。